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卫光科技六吋线二期高端功率器件项目首台重点

发布人: 齐发娱乐游戏 来源: 齐发娱乐游戏平台 发布时间: 2020-09-24 11:34

  超薄晶圆减薄机DFG8540移入微晶微电子公司生产线。该设备是为满足高端FS型IGBT器件超薄晶圆减薄工艺所需,主要用于6英寸硅片的圆片减薄工艺,可将硅片减薄至85um,同时可硅片的平整度。设备的引入将在推进微晶微新产品工艺研发、新品研制等方面发挥引领作用。

  截至目前,六吋线台辅助设备奥林巴斯显微镜移入生产线,本次重点工艺设备减薄机DFG8540的顺利移入,具有里程碑意义,同时标志着六吋线二期项目的全面有序开展。微晶微电子公司全体员工,众志成城、攻坚克难,继续撸起袖子加油干,为确保填平补齐项目、二期项目的顺利完成;为公司产品高质量发展进一步拓展平台奠定基础,赢得主动。

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